畢業學分:畢業學分資料是填報當學年度資料，若畢業學分顯示為0，表示為不分系招生系所。
| 日間/進修部 | 學制 | 學位 | 畢業學分 | 一般修業年限 | 最高修業年限 |
|---|---|---|---|---|---|
| 日間部 | 碩士班 | 碩士 | 30 | 2 | 5 |
| 職稱 | 專兼任 | 姓名 | 學術專長及研究 |
|---|---|---|---|
| 教師 | 專任 | 鄭建宗 | 影像系統、光學設計、非線性光學、文物檢測 |
| 教師 | 專任 | 黃家健 | 計算電磁、光電元件模擬、積體光學元件設計 |
| 教師 | 專任 | 李明威 | 太陽電池、光電、半導體、固態物理 |
| 教師 | 專任 | 吳秋賢 | 超導物理、超導元件物理、薄膜物理、磁性量測 |
| 教師 | 專任 | 林彥甫 | 奈米電子元件製作與電性量測、低溫物理實驗、固態物理實驗 |
| 教師 | 專任 | 陳坤麟 | 低溫物理、薄膜技術及材料性質的測量及分析、生物磁場應用 |
| 教師 | 專任 | 郭華丞 | 低溫物理及量子傳輸，奈米元件製造與電子量測 |