畢業學分:畢業學分資料是填報當學年度資料，若畢業學分顯示為0，表示為不分系招生系所。
| 日間/進修部 | 學制 | 學位 | 畢業學分 | 一般修業年限 | 最高修業年限 |
|---|---|---|---|---|---|
| 日間部 | 碩士班 | 碩士 | 30 | 2 | 5 |
| 進修部 | 碩士在職專班 | 碩士 | 30 | 2 | 5 |
| 日間部 | 博士班 | 博士 | 30 | 3 | 8 |
| 職稱 | 專兼任 | 姓名 | 學術專長及研究 |
|---|---|---|---|
| 教師 | 專任 | 林明澤 | 微機電學、微奈米製程、薄膜電子及生物材料之機械性質 |
| 教師 | 專任 | 劉柏良 | 密度泛函理論及其應用計算、電子結構理論 |
| 教師 | 專任 | 韓斌 | 光電工程、系統整合、計算物理與非線性系統 |
| 教師 | 專任 | 蔡政穆 | 光纖通訊、光學系統設計、電腦網路 |
| 教師 | 專任 | 楊錫杭 | 微細加工、奈米工程、光纖連接器、微電鑄、微光學製程 |
| 教師 | 專任 | 王東安 | 微組合、微機電系統、材料行為模擬、材料之塑性行為 |