畢業學分:畢業學分資料是填報當學年度資料，若畢業學分顯示為0，表示為不分系招生系所。
| 日間/進修部 | 學制 | 學位 | 畢業學分 | 一般修業年限 | 最高修業年限 |
|---|---|---|---|---|---|
| 日間部 | 碩士班 | 碩士 | 40 | 2 | 6 |
| 職稱 | 專兼任 | 姓名 | 學術專長及研究 |
|---|---|---|---|
| 教師 | 專任 | 倪澤恩 | 化合物半導體材料磊晶、光電元件物理 |
| 教師 | 專任 | 楊家銘 | 固態感測器元件、積體電路與微機電製程 |
| 教師 | 專任 | 張宗文 | VLSI/CAD、光電系統設計 |
| 教師 | 專任 | 陳乃權 | LED、半導體材料、化合物半導體 |
| 教師 | 專任 | 游智仁 | 外差干涉術、橢圓儀 |
| 教師 | 專任 | 吳國梅 | 高等材料工程、複合材料、儀器分析特論 |
| 教師 | 兼任 | 張連璧 | 電子工程 |