畢業學分:畢業學分資料是填報當學年度資料，若畢業學分顯示為0，表示為不分系招生系所。
| 日間/進修部 | 學制 | 學位 | 畢業學分 | 一般修業年限 | 最高修業年限 |
|---|---|---|---|---|---|
| 日間部 | 碩士班 | 碩士 | 24 | 4 | 4 |
| 進修部 | 碩士在職專班 | 碩士 | 30 | 4 | 6 |
| 日間部 | 博士班 | 博士 | 18 | 7 | 7 |
| 職稱 | 專兼任 | 姓名 | 學術專長及研究 |
|---|---|---|---|
| 教師 | 專任 | 蔡明忠 | 自動化感測與控制、光機電整合、智慧型理論與應用 |
| 教師 | 專任 | 李敏凡 | 機器人、人工智慧、微機電系統(MEMS)、電腦視覺 |
| 教師 | 專任 | 柯正浩 | 微奈米光機電自動化感測與控制、微光學晶片系統設計與製造 |
| 教師 | 專任 | 徐勝均 | 智慧型控制系統、影像與訊號處理、嵌入式系統及其應用 |
| 教師 | 專任 | 郭永麟 | 機械臂系統、 運動控制、 振動分析與控制 |
| 教師 | 專任 | 郭鴻飛 | 微影製程、雷射、光電系統整合 |
| 教師 | 專任 | 楊振雄 | 電路設計、非線性系統控制、訊號處理 |
| 教師 | 專任 | 顏家鈺 | 奈米操控、嵌入式系統 |